Ηλεκτρική μηχανή εξάτμισης θερμότητας/θερμικός εξοπλισμός κενής απόσταξης

Η εξάτμιση περιλαμβάνει δύο βασικές διαδικασίες: ένα καυτό υλικό πηγής εξατμίζει και συμπυκνώνει στο υπόστρωμα. Μοιάζει με τη γνωστή διαδικασία από την οποία το υγρό νερό εμφανίζεται στο καπάκι ενός βράζοντας δοχείου. Εντούτοις, το αεριώδεις περιβάλλον και η πηγή θερμότητας (δείτε «τον εξοπλισμό» κατωτέρω) είναι διαφορετικά.

Η εξάτμιση πραγματοποιείται σε ένα κενό, δηλ. οι ατμοί εκτός από το υλικό πηγής σχεδόν εξ ολοκλήρου αφαιρούνται προτού να αρχίσει η διαδικασία. Στο υψηλό κενό (με μια μακριά μέση ελεύθερη πορεία), τα εξατμισμένα μόρια μπορούν να ταξιδεψουν άμεσα στο στόχο απόθεσης χωρίς σύγκρουση με το αέριο υποβάθρου. (Σε αντίθεση, στο να βράσει παράδειγμα δοχείων, ο υδρατμός ωθεί τον αέρα από το δοχείο προτού να μπορέσει να φθάσει στο καπάκι.) Σε μια χαρακτηριστική πίεση 10 −^4PA, ένα μόριο 0,4 NM έχει μια μέση ελεύθερη πορεία 60 καυτών αντικειμένων μ. στην αίθουσα εξάτμισης, όπως η θέρμανση των ινών, ανεπιθύμητοι ατμοί προϊόντων που περιορίζουν την ποιότητα του κενού.

Τα εξατμισμένα άτομα που συγκρούονται με τα ξένα μόρια μπορούν να αντιδράσουν με τους για παράδειγμα, εάν το αλουμίνιο κατατίθεται παρουσία του οξυγόνου, θα διαμορφώσει το οξείδιο αλουμινίου. Μειώνουν επίσης το ποσό ατμού που φθάνει στο υπόστρωμα, το οποίο καθιστά το πάχος δύσκολο να ελέγξει.

Τα εξατμισμένα υλικά καταθέτουν nonuniformly εάν το υπόστρωμα έχει μια τραχιά επιφάνεια (όπως τα ολοκληρωμένα κυκλώματα συχνά). Επειδή το εξατμισμένο υλικό επιτίθεται στο υπόστρωμα συνήθως από μια ενιαία κατεύθυνση, τα προεξέχοντα χαρακτηριστικά γνωρίσματα εμποδίζουν το εξατμισμένο υλικό από μερικές περιοχές. Αυτό το φαινόμενο καλείται «να σκιάσει» ή «κάλυψη βημάτων.»

Όταν η εξάτμιση εκτελείται στο φτωχό κενό ή κοντά στην ατμοσφαιρική πίεση, η προκύπτουσα απόθεση είναι γενικά ανομοιόμορφη και τείνει να μην είναι μια συνεχής ή ομαλή ταινία. Μάλλον, η απόθεση θα εμφανιστεί συγκεχυμένη.